感应加热源自法拉第发现的电磁感应现象，即交流电在导体中产生感应电流，导致导体升温。 1890年，瑞典技术人员发明了第一台感应熔炼炉，即开槽式取芯炉。 1916年，美国人发明了闭孔式保温炉，感应加热技术逐渐进入实用阶段。

20世纪电力电子器件和技术的快速发展极大地促进了感应加热技术的发展。

1957年，美国开发出晶闸管作为电力电子技术的里程碑，高频熔铜炉标志着现代电力电子技术的开始和感应加热技术的革命。 1966年，瑞士和西德首次使用晶闸管开发感应加热装置，感应加热技术开始迅速发展。

20世纪80年代以后，高频钎焊机电力电子器件再次迅速发展，GTO，MOSFET，IGBT，M CT，SIT等器件纷纷出现。感应加热装置也逐渐放弃了晶闸管，并开始采用这些新装置。 IGBT和MOSFET现在更常用，IGBT用于更高功率应用，MOSFET用于更高频率的应用。据介绍，国外可以用IGBT实现1000kW以上的感应功率，频率超过50kHz。 MOSFET更适合高频应用，通常用于几千瓦的中小功率应用，频率可以达到500kHz以上，甚至几兆赫兹。然而，在国外也有使用MOSFET的高功率感应加热装置，例如在美国开发的2000kW / 400kHz装置。